Bonded thick film SOI with pre-etched cavities
Julkaisuvuosi
2006
Tekijät
Suni, Tommi; Henttinen, Kimmo; Dekker, James; Luoto, Hannu; Kulawski, Martin; Mäkinen, Jari; Mutikainen, Risto
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Dekker James
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti
Volyymi
12
Numero
5
Sivut
406-412
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1007/s00542-005-0039-1
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei