Amorphous metal alloy based MEMS for RF applications
Julkaisuvuosi
2006
Tekijät
Ylönen, Mari; Vähä-Heikkilä, Tauno; Kattelus, Hannu
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Vähä-Heikkilä Tauno
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Volyymi
132
Numero
1
Sivut
283-288
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
2
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/j.sna.2006.05.033
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei