Low-temperature bonding of thick-film polysilicon for microelectromechanical system (MEMS)

Julkaisuvuosi

2006

Tekijät

Luoto, Hannu; Suni, Tommi; Kulawski, Martin; Henttinen, Kimmo; Kattelus, Hannu

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Kattelus Hannu

Luoto Hannu

Henttinen Kimmo

Kulawski Martin

Suni Tommi

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli:

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti/Sarja

Microsystem Technologies

Volyymi

Numero

Sivut

401-405

ISSN

0946-7076

Julkaisufoorumi

63348

Julkaisufoorumitaso

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Rinnakkaistallennettu

Muut tiedot

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

DOI

10.1007/s00542-005-0037-3