undefined

< Takaisin hakutuloksiin

MEMS on cavity-SOI wafers

Julkaisuvuosi

2007

Tekijät

Luoto, Hannu; Henttinen, Kimmo; Suni, Tommi; Dekker, James; Mäkinen, Jari; Torkkeli, Altti

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Dekker James

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti

Solid-State Electronics

Volyymi

51

Numero

2

Sivut

328-332

ISSN

0038-1101

Julkaisu­foorumi

67380

Julkaisufoorumitaso

2

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

DOI

10.1016/j.sse.2007.01.007

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Ei