The use of automatic demolding in nanoimprint lithography processes
Julkaisuvuosi
2007
Tekijät
Merino, S.; Schift, H.; Retolaza, A.; Haatainen, Tomi
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Haatainen Tomi
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
84
Numero
5-8
Sivut
958-962
ISSN
Julkaisufoorumi
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei tietoa
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/j.mee.2007.01.023
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä