G-band distributed microelectromechanical components based on CMOS compatible fabrication
Julkaisuvuosi
2008
Tekijät
Vähä-Heikkilä, Tauno; Ylönen, Mari
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Vähä-Heikkilä Tauno
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
56
Numero
3
Sivut
720 - 728
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
3
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1109/TMTT.2008.916885
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei