undefined

< Takaisin hakutuloksiin

3D processing on 6 in. high resistive SOI wafers: Fabrication of edgeless strip and pixel detectors

Julkaisuvuosi

2009

Tekijät

Eränen, Simo; Kalliopuska, Juha; Orava, Risto; van Remortel, Nick; Virolainen, Tuula

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Kalliopuska Juha

Eränen Simo

Virolainen Tuula

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment

Volyymi

607

Numero

1

Sivut

85-88

ISSN

0168-9002

Julkaisu­foorumi

64244

Julkaisufoorumitaso

1

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

DOI

10.1016/j.nima.2009.03.243

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Ei