An atomistic introduction to anisotropic etching
Julkaisuvuosi
2007
Tekijät
Gosálvez, M.A.; Sato, Kazuo; Foster, A S; Nieminen, R M; Tanaka, H.
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti
Journal of Micromechanics and Microengineering
Kustantaja
Institute of Physics Publishing
Volyymi
17
Numero
4
Sivut
S1-S26
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Kyllä
DOI
10.1088/0960-1317/17/4/S01
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä