Modeling of the Growth of PECVD Silicon Nitride Films for Crystalline Silicon Solar Cells Using Response Surface Methodology
Julkaisuvuosi
1998
Tekijät
Nybergh, Kjell; Marjamäki, T.; Skarp, Eija
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Erillisteos
Yleisö
Ammatillinen
OKM:n julkaisutyyppiluokitus
D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä