Pushing the limits of plasma ALD conformality
Julkaisuvuosi
2011
Tekijät
Putkonen, Matti; Kariniemi, Maarit; Niinistö, J.; Vehkamäki, M.; Kemell, M.; Ritala, M.; Leskelä, M.; Karwacki, E.J.; Buchanan, I.
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Erillisteos
Yleisö
Ammatillinen
OKM:n julkaisutyyppiluokitus
D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Kemia
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä