Overview of early publications on Atomic Layer Deposition
Julkaisuvuosi
2014
Tekijät
Aarik, Jaan; Akbashev, Andrew R.; Cameron, David; Elam, Jeffrey; Elliott, Simon; Gottardi, Gloria; Grigoras, Kestutis; Koshtyal, Yury; Kääriäinen, Marja-Leena; Kääriäinen, Tommi; Malkov, Anatoly; Malygin, Anatoly; Molarius, Jyrki; Nikkola, Juha; Pedersen, Henrik; Puurunen, Riikka L.; Ras, Robin H. A.; Roozeboom, Fred; Savin, Hele; Seidel, Thomas E.
Näytä enemmänOrganisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Kemia; Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Materiaalitekniikka; Nanoteknologia; Lääketieteen bioteknologia
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä