Pattern shape effects and artefacts in deep silicon etching
Julkaisuvuosi
1999
Tekijät
Kiihamäki, J.; Franssila, Sami
Organisaatiot ja tekijät
Aalto-yliopisto
Franssila Sami 
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Kustantaja
Volyymi
A17
Numero
4
Sivut
2280-2285
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1116/1.581761
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä