Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures
Julkaisuvuosi
2015
Tekijät
Tittonen, Ilkka; Koskenvuori, Mika
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Kokoomateos
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A3 Kirjan tai muun kokoomateoksen osaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Micro and Nano Technologies
Kustantaja
Sivut
294-312
ISBN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
2
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Materiaalitekniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/B978-0-323-29965-7.00010-5
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä