undefined

Atomic layer deposition of metal fluorides through oxide chemistry

Julkaisuvuosi

2011

Tekijät

Putkonen, Matti; Szeghalmi, A; Pippel, E; Knez, Mato

Organisaatiot ja tekijät

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Volyymi

21

Sivut

14461-14465

Julkaisu­foorumi

60943

Julkaisufoorumitaso

3

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Tieteenalat

Kemia

Kustantajan kansainvälisyys

Kansainvälinen

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Kyllä

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

DOI

10.1039/c1jm11825k

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Kyllä