Numerical and Compact Modelling of Squeeze-film Damping in RF MEMS Resonator
Julkaisuvuosi
2008
Tekijät
Veijola, Timo; Lehtovuori, Anu
Organisaatiot ja tekijät
Aalto-yliopisto
Lehtovuori Anu 
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Nice, France, 9-11 April 2008
Kustantaja
EDA Publishing Association
Sivut
222-228
ISBN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Avaruustieteet ja tähtitiede; Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Materiaalitekniikka; Nanoteknologia; Geotieteet
Avainsanat
[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä