Silicon Nanopillars Formed by Reactive Ion Etching Using Self-Organized Gold Mask

Julkaisuvuosi

1999

Tekijät

Ovchinnikov, V.; Malinin, A.; Novikov, S.; Tuovinen, C.

Organisaatiot ja tekijät

Aalto-yliopisto

Tuovinen Charlotta

Novikov Serguei

Ovchinnikov Victor

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli:

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti/Sarja

Physica Scripta

Kustantaja

Institute of Physics Publishing

Volyymi

T79

Sivut

263-265

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Rinnakkaistallennettu

Muut tiedot

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kustantajan kansainvälisyys

Kansainvälinen

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Kyllä