Wafer-level transfer technologies for PZT-based RF MEMS switches
Julkaisuvuosi
2010
Tekijät
Guerre, R.; Drechsler, U.; Bhattacharyya, D.; Rantakari, Pekka; Stutz, R.; Wright, R.V.; Milosavljevic, Z.D.; Vähä-Heikkilä, Tauno; Kirby, P.B.; Despont, M.
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
19
Numero
3
Sivut
548-560
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
3
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1109/JMEMS.2010.2047005
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei