undefined

Wafer-level transfer technologies for PZT-based RF MEMS switches

Julkaisuvuosi

2010

Tekijät

Guerre, R.; Drechsler, U.; Bhattacharyya, D.; Rantakari, Pekka; Stutz, R.; Wright, R.V.; Milosavljevic, Z.D.; Vähä-Heikkilä, Tauno; Kirby, P.B.; Despont, M.

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Rantakari Pekka

Vähä-Heikkilä Tauno

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Volyymi

19

Numero

3

Sivut

548-560

Julkaisu­foorumi

61025

Julkaisufoorumitaso

3

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

DOI

10.1109/JMEMS.2010.2047005

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Ei