Effect of Shot Number on Femtosecond Laser Drilling of Silicon
Julkaisuvuosi
2010
Tekijät
Laakso, Petri; Penttilä, Raimo; Heimala, Päivi
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Heimala Päivi 
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
5
Numero
3
Sivut
273-276
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Kyllä
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.2961/jlmn.2010.03.0017
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei