Measurement strategies and uncertainty estimations for pitch and step height calibrations by metrological atomic force microscope
Julkaisuvuosi
2012
Tekijät
Korpelainen, Virpi; Seppä, Jeremias; Lassila, Antti
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
11
Numero
1
Artikkelinumero
011002
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka
Avainsanat
[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1117/1.JMM.11.1.011002
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä