Scatterometry analysis of sequentially imprinted patterns: Influence of thermal parameters
Julkaisuvuosi
2012
Tekijät
Gourgon, C.; Ferchichi, A.K.; Pietroy, D.; Haatainen, Tomi; Tesseire, J.
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Haatainen Tomi
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
98
Sivut
270-274
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/j.mee.2012.05.048
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä