High-Definition Nanoimprint Stamp Fabrication by Atomic Layer Etching
Julkaisuvuosi
2018
Tekijät
Khan, Sabbir A.; Suyatin, Dmitry B.; Sundqvist, Jonas; Graczyk, Mariusz ; Junige, Marcel; Kauppinen, Christoffer; Kvennefors, Anders; Huffman, Maria; Maximov, Ivan
Organisaatiot ja tekijät
Aalto-yliopisto
Kauppinen Christoffer 
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Kustantaja
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Materiaalitekniikka; Nanoteknologia
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Tunnistettu aihe
[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1021/acsanm.8b00509
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä