Atomic Layer Deposition of Zirconium Dioxide from Zirconium Tetraiodide and Ozone
Julkaisuvuosi
2018
Tekijät
Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna; Mizohata, Kenichiro; Vehkamäki, Marko; Kalam, Kristjan; Castan, Helena; Duenas, Salvador; Link, Joosep; Stern, Raivo; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku
Organisaatiot ja tekijät
Helsingin yliopisto
Kukli Kaupo
Mizohata Kenichiro
Kemell Marianna
Leskelä Markku
Vehkamäki Marko
Ritala Mikko
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Volyymi
7
Numero
2
Sivut
P1-P8
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
0
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Julkaisukanavan avoin saatavuus
Osittain avoin julkaisukanava
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Kemia
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Julkaisumaa
Yhdysvallat (USA)
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1149/2.0041802jss
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä