Atomic Layer Deposition of Zirconium Dioxide from Zirconium Tetraiodide and Ozone

Julkaisuvuosi

2018

Tekijät

Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna; Mizohata, Kenichiro; Vehkamäki, Marko; Kalam, Kristjan; Castan, Helena; Duenas, Salvador; Link, Joosep; Stern, Raivo; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku

Organisaatiot ja tekijät

Helsingin yliopisto

Kukli Kaupo

Mizohata Kenichiro

Kemell Marianna

Leskelä Markku

Vehkamäki Marko

Ritala Mikko

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli:

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti/Sarja

ECS Journal of Solid State Science and Technology

Emojulkaisun nimi

ECS Journal of Solid State Science and Technology

Volyymi

Numero

Sivut

P1-P8

ISSN

2162-8769

Julkaisufoorumi

75100

Julkaisufoorumitaso

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Julkaisukanavan avoin saatavuus

Osittain avoin julkaisukanava

Rinnakkaistallennettu

Muut tiedot

Tieteenalat

Fysiikka; Kemia

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Julkaisumaa

Yhdysvallat (USA)

Kustantajan kansainvälisyys

Kansainvälinen

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Kyllä

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

DOI

10.1149/2.0041802jss

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen