undefined

< Takaisin hakutuloksiin

Metal oxide multilayer hard mask system for 3D nanofabrication

Julkaisuvuosi

2018

Tekijät

Han, Zhongmei; Vehkamäki, Marko ; Salmi, Emma; Leskelä, Markku ; Ritala, Mikko

Organisaatiot ja tekijät

Helsingin yliopisto

Leskelä Markku

Vehkamäki Marko

Ritala Mikko

Han Zhongmei

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti

Nanotechnology

Emojulkaisun nimi

Nanotechnology

Volyymi

29

Numero

5

Artikkelinumero

055301

ISSN

0957-4484

Julkaisu­foorumi

63717

Julkaisufoorumitaso

2

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Tieteenalat

Kemia; Nanoteknologia

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Julkaisumaa

Yhdistynyt kuningaskunta

Kustantajan kansainvälisyys

Kansainvälinen

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Kyllä

DOI

10.1088/1361-6528/aa9fe0

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Kyllä