Traceable Mueller polarimetry and scatterometry for shape reconstruction of grating structures
Julkaisuvuosi
2017
Tekijät
Hansen Poul-Erik, Madsen Morten H, Lehtolahti Joonas, Nielsen Lars
Organisaatiot ja tekijät
Itä-Suomen yliopisto
Lehtolahti Joonas
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Volyymi
421
Numero
Part B
Artikkelinumero
10.1016/j.apsusc.2017.02.091
Sivut
471-479
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Kyllä
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/j.apsusc.2017.02.091
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä