undefined

Efficient surface passivation of black silicon using spatial atomic layer deposition

Julkaisuvuosi

2017

Tekijät

Heikkinen, Ismo; Repo, Päivikki; Vähänissi, Ville; Pasanen, Toni; Malinen, Ville; Savin, Hele

Organisaatiot ja tekijät

Aalto-yliopisto

Savin Hele Orcid -palvelun logo

Repo Päivikki

Pasanen Toni Orcid -palvelun logo

Vähänissi Ville Orcid -palvelun logo

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Konferenssi

Artikkelin tyyppi

Muu artikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisukanavan tiedot

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Kyllä

Julkaisukanavan avoin saatavuus

Kokonaan avoin julkaisukanava

Rinnakkaistallennettu

Kyllä

Muut tiedot

Tieteenalat

Nanoteknologia

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kustantajan kansainvälisyys

Kansainvälinen

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Kyllä

DOI

10.1016/j.egypro.2017.09.300

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Kyllä