Atomic Layer Deposited Hybrid Organic-Inorganic Aluminates as Potential Low-k Dielectric Materials
Julkaisuvuosi
2015
Tekijät
Klepper, Karina B; Miikkulainen, Kimmo Ville Antero; Nilsen, Ola; Fjellvåg, Helmer; Liu, Ming; Dutta, Dhanadeep; Gidley, David; Lanford, William; Ross, Liza; Li, Han; King, Sean W
Organisaatiot ja tekijät
Helsingin yliopisto
Miikkulainen Kimmo Ville Antero
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Emojulkaisun nimi
Volyymi
1791
Sivut
15-20
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Nanoteknologia
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object]
Julkaisumaa
Yhdysvallat (USA)
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1557/opl.2015.519
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä