Integration of atomic layer deposited nanolaminates on silicon waveguides (Conference Presentation)
Julkaisuvuosi
2016
Tekijät
Autere A, Karvonen L, Säynätjoki A, Roussey M, Roenn J, Färm E, Kemell M, Tu X, Liow T-Y, Lo P, Ritala M, Leskelä M, Lipsanen H, Honkanen S, Sun Z
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Kokoomateos
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A3 Kirjan tai muun kokoomateoksen osaJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Emojulkaisun nimi
Proc. SPIE 9891, Silicon Photonics and Photonic Integrated Circuits V
Kustantaja
Artikkelinumero
10.1117/12.2227097
Sivut
98910J
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
0
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä