Cycloheptatrienyl-Cyclopentadienyl Heteroleptic Precursors for Atomic Layer Deposition of Group 4 Oxide Thin Films
Julkaisuvuosi
2012
Tekijät
Niinisto, Jaakko; Hatanpää, Timo Tapio; Kariniemi, Maarit; Mäntymäki, Miia; Costelle, Leila; Mizohata, Kenichiro; Kukli, Kaupo; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku
Organisaatiot ja tekijät
Helsingin yliopisto
Niinisto Jaakko
Kukli Kaupo
Mizohata Kenichiro
Costelle Leila
Kariniemi Maarit
Leskelä Markku
Mäntymäki Miia
Ritala Mikko
Hatanpää Timo Tapio
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Emojulkaisun nimi
Volyymi
24
Numero
11
Sivut
22-28
ISSN
Julkaisufoorumi
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei tietoa
Rinnakkaistallennettu
Ei tietoa
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Kemia
Julkaisumaa
Yhdysvallat (USA)
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei tietoa
DOI
10.1021/cm2030735
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä