Evaluation of scatterometry for characterisation of hybrid optics
Julkaisuvuosi
2012
Tekijät
Lassila Antti, Bodermann Bernd, Turunen Jari, Hansen Poul-Erik, Wurm Matthias, Siitonen Samuli, Saastamoinen Toni, Husu Hannu, Korpelainen Virpi
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
Ei-vertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
B3 Vertaisarvioimaton artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
ISBN
Julkaisufoorumi
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei tietoa
Rinnakkaistallennettu
Ei tietoa
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka
Julkaisumaa
Yhdistynyt kuningaskunta
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei tietoa
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä