undefined

Evaluation of scatterometry for characterisation of hybrid optics

Julkaisuvuosi

2012

Tekijät

Lassila Antti, Bodermann Bernd, Turunen Jari, Hansen Poul-Erik, Wurm Matthias, Siitonen Samuli, Saastamoinen Toni, Husu Hannu, Korpelainen Virpi

Organisaatiot ja tekijät

Itä-Suomen yliopisto

Turunen Jari

Saastamoinen Toni

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Konferenssi

Artikkelin tyyppi

Muu artikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Ei-vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

B3 Vertaisarvioimaton artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisukanavan tiedot

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei tietoa

Rinnakkaistallennettu

Ei tietoa

Muut tiedot

Tieteenalat

Fysiikka

Julkaisumaa

Yhdistynyt kuningaskunta

Kustantajan kansainvälisyys

Kansainvälinen

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Kyllä

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei tietoa

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Kyllä