Joint Research on Scatterometry and AFM Wafer Metrology
Julkaisuvuosi
2011
Tekijät
Bodermann Bernd, Buhr Egbert, Danzebrink Hans-Ulrich, Bär Markus, Scholze Frank, Krumrey Michael, Wurm Matthias, Klapetek Petr, Hansen Poul-Erik, Korpelainen Virpi, Veghel Marijn van, Yacoot Andrew, Siitonen Samuli, Gawhary Omar el, Burger Sven, Saastamoinen Toni
Näytä enemmänOrganisaatiot ja tekijät
Itä-Suomen yliopisto
Saastamoinen Toni
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
Ei-vertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
B3 Vertaisarvioimaton artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
FRONTIERS OF CHARACTERIZATION AND METROLOGY FOR NANOELECTRONICS: 2011
Kustantaja
American Institute of Physics
Volyymi
1395
Sivut
319-323
ISBN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Kyllä
Julkaisukanavan avoin saatavuus
Kokonaan avoin julkaisukanava
Rinnakkaistallennettu
Ei tietoa
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka
Tunnistettu aihe
[object Object]
Julkaisumaa
Ranska
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei tietoa
DOI
10.1063/1.3657910
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä