Temperature Stability of Electrode/AlScN Multilayer Systems for pMUT Process Integration
Julkaisuvuosi
2020
Tekijät
Bespalova, Kristina; Ross, Glenn; Paulasto-Kröckel, Mervi; Thanniyil, Abhilash Sebastian; Karuthedath, Cyril; Mertin, Stefan; Pensala, Tuomas
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Emojulkaisun nimi
Proceedings of the IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2020
Konferenssi
Kustantaja
Artikkelinumero
9251496
ISSN
ISBN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Kyllä
Muut tiedot
Tieteenalat
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Kone- ja valmistustekniikka
Tunnistettu aihe
[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1109/IUS46767.2020.9251496
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä