Atomic and Molecular Layer Deposition for Surface Modification
Julkaisuvuosi
2014
Tekijät
Vähä-Nissi, Mika; Sievänen, Jenni; Salo, Erkki; Heikkilä, Pirjo; Kenttä, Eija; Johansson, Leena-Sisko; Koskinen, Jorma T.; Harlin, Ali
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Harlin Ali
Kenttä Eija
Salo Erkki
Sievänen Jenni
Koskinen Jorma T.
Vähä-Nissi Mika
Heikkilä Pirjo 
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
214
Numero
June
Sivut
7-11
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
2
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Teknillinen kemia, kemian prosessitekniikka; Materiaalitekniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/j.jssc.2013.11.040
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä