Calibration of high aspect ratio quality control optical scanning system
Julkaisuvuosi
2013
Tekijät
Karadzhinova, Aneliya; Hilden, Timo; Heino, Jouni; Berdova, Maria; Lauhakangas, Rauno; Garcia, Francisco; Tuominen, Eija; Kassamakov, Ivan
Organisaatiot ja tekijät
Aalto-yliopisto
Berdova Maria
Helsingin yliopisto
Karadzhinova A.
Tuominen E.
Garcia F.
Kassamakov I.
Heino J.
Lauhakangas R.
Hildén T.
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
8839
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Julkaisumaa
Yhdysvallat (USA)
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1117/12.2024100
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä