Mechanical assessment of suspended ALD thin films by bulge and shaft-loading techniques
Julkaisuvuosi
2014
Tekijät
Berdova, Maria; Ylitalo, Tuomo; Kassamakov, Ivan; Heino, Jouni; Törmä, Pekka; Kilpi, Lauri; Ronkainen, Helena; Koskinen, Jari; Hæggström, Edward; Franssila, Sami
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti
Volyymi
66
Sivut
370-377
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
3
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Materiaalitekniikka; Nanoteknologia
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/j.actamat.2013.11.024
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä