Aluminum oxide from trimethylaluminum and water by atomic layer deposition: The temperature dependence of residual stress, elastic modulus, hardness and adhesion
Julkaisuvuosi
2014
Tekijät
Ylivaara, Oili M.E.; Liu, Xuwen; Kilpi, Lauri; Lyytinen, Jussi; Schneider, Dieter; Laitinen, Mikko; Julin, Jaakko; Ali, Saima; Sintonen, Sakari; Berdova, Maria; Haimi, Eero; Sajavaara, Timo; Ronkainen, Helena; Lipsanen, Harri; Koskinen, Jari; Hannula, Simo Pekka; Puurunen, Riikka L.
Näytä enemmänOrganisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Ronkainen Helena 
Kilpi Lauri
Ylivaara Oili M.E.
Puurunen Riikka L.
Aalto-yliopisto
Haimi Eero
Lipsanen Harri
Koskinen Jari
Lyytinen Jussi
Berdova Maria
Ylivaara Oili
Puurunen Riikka
Ali Saima
Sintonen Sakari
Hannula Simo-Pekka
Liu Xuwen
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Volyymi
552
Sivut
124-135
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
2
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Kyllä
Rinnakkaistallenteen lisenssi
CC BY NC ND
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Kemia; Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Materiaalitekniikka; Nanoteknologia; Lääketieteen bioteknologia
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/j.tsf.2013.11.112
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä