Glass Polarization Induced Drift in Microelectromechanical Capacitor
Julkaisuvuosi
2012
Tekijät
Haarahiltunen, Antti; Varpula, Aapo; Leinvuo, Jouni; Siren, Esko; Rytkönen, Vesa-Pekka; Savin, Hele
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Varpula Aapo 
Aalto-yliopisto
Savin Hele
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
111
Numero
10
Artikkelinumero
103523
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
2
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Kyllä
Julkaisukanavan avoin saatavuus
Kokonaan avoin julkaisukanava
Rinnakkaistallennettu
Kyllä
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Kemia; Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Materiaalitekniikka; Nanoteknologia; Lääketieteen bioteknologia
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Kyllä
DOI
10.1063/1.4720378
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä