Nondestructive static and dynamic MEMS characterization using supercontinuum scanning white light interferometry

Julkaisuvuosi

2012

Tekijät

Heikkinen, V.; Hanhijärvi, K.; Aaltonen, J.; Grigoras, K.; Kassamakov, I.; Franssila, S.; Haeggstrom, E.

Organisaatiot ja tekijät

Helsingin yliopisto

Haeggström E.

Kassamakov I.

Aaltonen J.

Hanhijarvi K.

Heikkinen V.

Aalto-yliopisto

Franssila Sami

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Konferenssi

Artikkelin tyyppi

Muu artikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisukanavan tiedot

Lehti

Proceedings of SPIE : the International Society for Optical Engineering

Emojulkaisun nimi

Reliability, Packaging, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS and Nanodevices XI, San Francisco, CA, 23 January 2012 - 24 January 2012

Volyymi

825

Sivut

8258

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Rinnakkaistallennettu

Muut tiedot

Tieteenalat

Fysiikka; Materiaalitekniikka; Nanoteknologia

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Julkaisumaa

Yhdysvallat (USA)

Kustantajan kansainvälisyys

Kansainvälinen

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

DOI

10.1117/12.906178

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Kyllä