Atomic layer deposition of ruthenium films on strontium titanate
Julkaisuvuosi
2011
Tekijät
Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna Leena; Lu, Jun; Hultman, Lars; Riedel, Stefan; Sundqvist, Jonas; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
11
Numero
9
Sivut
8378-8382
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei tietoa
Rinnakkaistallennettu
Ei tietoa
Muut tiedot
Tieteenalat
Kemia
Julkaisumaa
Yhdysvallat (USA)
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei tietoa
DOI
10.1166/jnn.2011.5045
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä