History of atomic layer deposition and its relationship with the American Vacuum Society
Julkaisuvuosi
2013
Tekijät
Parsons, Gregory N.; Elam, Jeffrey W.; George, Steven M.; Haukka, Suvi; Jeon, Hyeongtag; Kessels, W. M. M. (Erwin); Leskelä, Markku; Poodt, Paul; Ritala, Mikko; Rossnagel, Steven M.
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Emojulkaisun nimi
Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Volyymi
31
Numero
5
Sivut
50818
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei tietoa
Rinnakkaistallennettu
Ei tietoa
Muut tiedot
Tieteenalat
Kemia
Julkaisumaa
Yhdysvallat (USA)
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei tietoa
DOI
10.1116/1.4816548
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä