Atomic Layer Deposition of TiO2 and ZrO2 Thin Films Using Heteroleptic Guanidinate Precursors
Julkaisuvuosi
2014
Tekijät
Kaipio, Mikko; Blanquart, Timothee; Banerjee, Manish; Xu, Ke; Niinistö, Jaakko; Longo, Valentino; Mizohata, Kenichiro; Devi, Anjana; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku
Organisaatiot ja tekijät
Helsingin yliopisto
Niinistö Jaakko
Mizohata Kenichiro
Leskelä Markku
Ritala Mikko
Kaipio Mikko
Blanquart Timothee
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Volyymi
20
Numero
7-9
Sivut
209-216
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
2
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei tietoa
Rinnakkaistallennettu
Ei tietoa
Muut tiedot
Tieteenalat
Kemia
Julkaisumaa
Saksa
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei tietoa
DOI
10.1002/cvde.201407115
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä