Atomic layer deposition of zirconium dioxide from zirconium tetrachloride and ozone
Julkaisuvuosi
2015
Tekijät
Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna; Köykkä, Joel; Mizohata, Kenichiro; Vehkamaki, Marko; Ritala, Mikko; Leskela, Markku
Organisaatiot ja tekijät
Helsingin yliopisto
Kemell Marianna
Kukli Kaupo
Mizohata Kenichiro
Leskela Markku
Vehkamaki Marko
Ritala Mikko
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Emojulkaisun nimi
Volyymi
589
Sivut
597-604
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei tietoa
Rinnakkaistallennettu
Ei tietoa
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Kemia
Julkaisumaa
Sveitsi
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei tietoa
DOI
10.1016/j.tsf.2015.06.033
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä