Chips24 GENESIS AALTO
Rahoitetun hankkeen kuvaus
GENESIS-projektin tavoitteena luoda perusta kestävälle eurooppalaiselle puolijohdevalmistukselle, ja vähentää komponenttiprosessoinnin ympäristövaikutuksia ympäristöystävällisten innovaatioiden avulla. Haitallisia materiaaleja on tarkoitus korvata turvallisemmilla vaihtoehdoilla, jätteenkäsittelyä parantaa, ja harvinaisten alkuaineiden käyttöä ja kierrätystä tehostaa. GENESIS-projektin innovaatiot liittyvät kolmeen avainalueeseen: materiaalit, jätteiden ja päästöjen monitorointi, ja harvinaisten alkuaineiden käyttö. GENESIS-projektissa on neljä teknistä työpakettia ja lisäksi työpaketti projektin ohjaukseen. Modulaarinen lähestymistapa auttaa skaalaamaan ja integroimaan ratkaisuja olemassaoleviin prosesseihin, mikä tukee kierrätettävyyttä puolijohdesektorilla. Aalto-yliopistossa tehtävä kokeellinen ja laskennallinen tutkimus selvittää atomikerroskasvatusprosessien (ALD, atomic layer deposition) kineettisiä reaktioparametreja hyödyntäen hallittuihin 3D-rakenteisiin kasvatettujen ohutkalvojen kyllästysprofiileja. Kineettiset parametrit kartoitetaan ainakin kolmelle prosessille, jotka on valittu yhdessä GENESIS-projektipartnerien kanssa.
Näytä enemmänAloitusvuosi
2025
Päättymisvuosi
2028
Myönnetty rahoitus
327 308 €
Rahoittaja
Innovaatiorahoituskeskus Business Finland
Rahoitusmuoto
Elinkeinoelämän kanssa verkottunut tutkimus (ml. Co-Innovation)
Muut tiedot
Rahoituspäätöksen numero
5820/31/2024