Structural Data for the Zincone ALD/MLD Hybrid Thin Film Growth Reactions
Kuvaus
Dataset containing zincone ALD/MLD hybrid thin film structures modeled using DFT.
Julkaisuvuosi
2023
Aineiston tyyppi
Tekijät
Department of Chemistry and Materials Science
Mario Mäkinen 
Harvard Dataverse - Julkaisija
Projekti
Muut tiedot
Tieteenalat
Teknillinen kemia, kemian prosessitekniikka
Kieli
Saatavuus
Avoin