Rissanen, Anna; Broas, M.; Hokka, J.; Mattila, T.; Antila, J.; Laamanen, M.; Saari, HeikkiReliability, Packaging, Testing, and Characterization of MOEMS/MEMS and Nanodevices XII2013
Trops, Roberts; Hakola, Anna Maria; Jääskeläinen, Severi; Näsilä, Antti; Annala, Leevi; Eskelinen, M...Proceedings of SPIE : the International Society for Optical Engineering2019