Näytetään tulokset 1 - 10 / 576
tulosta / sivu
Julkaisun nimi
Tekijät
Julkaisukanava
Vuosi
Julkaisujen tiedon ikoni
Veijola, Timo
Elsevier
2010
Julkaisujen tiedon ikoni
Heikkinen, Veli; Aikio, Janne; Alajoki, Teemu; Hiltunen, Jussi; Antti-Jussi, Mattila; Ollila, Jyrki;...
International Conference on Optical MEMS, MOEMS 2003
2003
Julkaisujen tiedon ikoni
Vähä-Heikkilä, Tauno
2nd RF-MEMS Workshop on Industry Application: RF Power MEMS: Reliability and Applications
2007
Julkaisujen tiedon ikoni
Tuovinen, Jussi; Vähä-Heikkilä, Tauno
European Microwave Week 2006
2006
Julkaisujen tiedon ikoni
Kololuoma, Terho; Tuomikoski, Markus; Haring, Tomi; Kopola, Harri
Optical MEMS, IEEE/LEOS International Conference on
2005
Julkaisujen tiedon ikoni
Han, Zhengli; Kohno, Kenta; Haatainen, Tomi; Mäkelä, Tapio; Fujita, Hiroyuki; Hirakawa, Kazuhiko; To...
International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2013
2013
Julkaisujen tiedon ikoni
Lo, Chengyao; Hast, Jukka; Huttunen, Olli-Heikki; Petäjä, Jarno; Hiitola-Keinänen, Johanna; Maaninen...
IEEE Institute of Electrical and Electronic Engineers
2008
Julkaisujen tiedon ikoni

MEMS lithography

Vertaisarvioitu
Franssila, Sami; Tuomikoski, Santeri
Elsevier
2015
Julkaisujen tiedon ikoni
Li, Jue; Mattila, Toni; Vuorinen, Vesa
Elsevier
2015
Julkaisujen tiedon ikoni
Chutani, R.; Galliou, S.; Passilly, N.; Gorecki, C.; Sitomaniemi, Aila; Heikkinen, Mikko; Kautio, Ka...
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2012
2012