undefined

Air damping of oscillating MEMS structures: Modeling and comparison with experiment

Julkaisuvuosi

2013

Tekijät

Gorelick, Sergey; Dekker, James R; Leivo, Mikko; Kantojärvi, Uula

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Dekker James R

Leivo Mikko

Gorelick Sergey

Kantojärvi Uula

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Konferenssi

Artikkelin tyyppi

Muu artikkeli:

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisukanavan tiedot

Konferenssi

COMSOL Conference, Rotterdam

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Kyllä

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Tieteenalat

Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Tunnistettu aihe

[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Kyllä