Nanocutting mechanism of 6H-SiC investigated by scanning electron microscope online observation and stress-assisted and ion implant-assisted approaches
Julkaisuvuosi
2020
Tekijät
Xu, Zongwei; Liu, Lei; He, Zhongdu; Tian, Dongyu; Hartmaier, Alexander; Zhang, Junjie; Luo, Xichun; Rommel, Mathias; Nordlund, Kai; Zhang, Guoxiong; Fang, Fengzhou
Organisaatiot ja tekijät
Helsingin yliopisto
Nordlund Kai
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Volyymi
106
Numero
9-10
Sivut
3869-3880
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Kyllä
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Nanoteknologia
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Julkaisumaa
Yhdistynyt kuningaskunta
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1007/s00170-019-04886-6
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä